無塵室潔淨度等級查表

潔淨度等級		微粒上限濃度(個/m3)
ISO 14644-1	Fed.Std-209E	≧0.1 µm	≧0.2 µm	≧0.3 µm	≧0.5 µm	≧1 µm	≧5 µm
ISO1		10	廢除
ISO2		100	24	10	廢除
ISO3	1	1000	237	102	35	廢除
ISO4	10	10000	2370	1020	352	83
ISO5	100	100000	23700	10200	3520	832	廢除
ISO6	1000	1000000	237000	102000	35200	8320	293
ISO7	10000				352000	83200	2930
ISO8	100000				3520000	832000	29300
ISO9					35200000	8320000	293000
ISO 14644-1，無塵室等級國際標準，本表為 2015 年 12 月修正版本。
Fed.Std-209E，無塵室等級美國聯邦標準，目前已廢止。
*上表Fed.Std-209E與ISO 14644-1標準可以以0.5 µm粒徑為準做兩者間等級轉換。